소개
Aujourd'hui, la loi de Moore est affectee par les limitations physiques rencontrees dans les technologies avancees entrainant ainsi leur complexification. Il devient alors necessaire de developper de nouveaux procedes, comme illustre dans le cas de l'epitaxie. Parce que les procedes CVD sont devenus tres performants, ils offrent des solutions technologiques qui permettent de poursuivre la miniaturisation des composants grace a leur integration decisive dans ces technologies.